주식회사 나노정밀코리아
NANO Metrology KOREA Co., Ltd.
NEXIV 측정기 | Video Measuring Syestem
i NEXIV VMA 시리즈
넓은 시야각, 긴 작동 거리 및 큰 XYZ 스트로크를 특징으로 하는 iNEXIV VMA 시리즈는 3D 구성품의 자동 측정을 위한 최상의 사용성을 제공합니다.
73.5mm의 긴 작업 거리 :
높이 편차가 큰 경우의 깊이 측정에 가장 적합합니다.
저 배율에서 최대 13x10mm의 넓은 시야 각 :
측정 부품의 형상을 쉽게 탐색하고 정렬 할 수 있습니다.
접촉식 프로브 (옵션) :
천공과 같이 보이지 않는 형상의 치수와 각도를 측정할 수 있습니다.
Renishaw TP20 터치 프로브를 사용하면 이미지로 사용할 수 없는 경우에도 측정이 가능 합니다.
모델
VMA-2520/ VMA-4540/ VMA-6555
NEXIV VMZ-S 시리즈
NEXIV VMZ-S 시리즈는 높은 처리량이 중요한 경우에 속도와 정확도를 제공합니다. 마이크로 수준의 검사 응용 분야를 위한 고정밀성, 속도, 사용성을 제공합니다
다양한 피검물에 맞는 범용성 :
VMZ는 3가지 타입의 측정 범위를 고품질 광학 장치와 함께 제공하며, TTL 방식의 스캐닝 레이저를 표준으로 구성하고 있습니다.
광학 줌 시스템의 6가지 유형 :
고정밀 측정을 제공하기 위해 특별히 고안된 니콘 광학 기술을 사용하여 완전히 새롭게 설계되었습니다.
고속 높이 측정 :
초당 1,000 포인트의 초고속 스캔이 가능한 TTL 방식의 레이저 자동초점으로 고속 높이 측정이 가능합니다
3개의 입사각을 갖는 8분할 링 조명 :
세가지 다른 각도를 통해 링 조명이 엣지를 정확하게 검출할 수 있습니다. 모든 조명은 백색 LED를 사용하여 안정성고 긴 수명을 제공 합니다..
고 정밀/ 고속 치수측정
타입 1/ 2/ 3은 선명하고 왜곡이 작은 이미지와 높은 개구수를 제공 합니다. 6가지 유형을 선택하여 다양한 시야 및 해상도를 충족 시켜 줍니다.
모델
VMZ-S3020/ VMZ-S4540/ VMZ-S6555
NEXIV VMZ-K 시리즈
NEXIV-K 시리즈는 고속, 고해상도, 3D 검사가 가능합니다.
공초점 광학 기술 덕분에 명시야 이미지를 사용한 2D 측정뿐만 아니라, 단일 시야각에서의 높이 측정까지도 가능합니다.
컨포컬 NEXIV는 웨이퍼레벨 CSP와 같은 첨단 IC패키지의 다양한 범프 높이, MEMS, 프로브 카드의 매우 복잡한 구조를 검사 하는데도 사용 할 수 있습니다.
미세 범프 및 기판 패턴 :
15x 줌 명시야 이미지를 사용한 2D 측정과 동일한 시야각에서의 3D 높이 측정을 결합하면 다양한 방식의 측정이 가능합니다.
프로브 카드 :
클릭 한 번으로 위치 데이터에서 프로그래밍할 수 있습니다. 고유한 이미지 처리 도구를 사용하여 프로브 카드의 XYZ 좌표 및 평탄도(coplanarity) 컨택트 프로브 핀을 자동으로 측정할 수 있습니다.
정밀 PCB 패턴 :
니콘의 고유한 공초점 이미징 기술을 사용하면 반사율이 높은 표면과 낮은 표면 모두를 정확하게 스캔할 수 있습니다.
모델
VMZ-K3040/ VMZ-K6555
NEXIV VMZ-H3030 시리즈
향상된 사용성과 성능을 통해 NEXIX VMZ-H3030은 니콘의 NEXIV 시리즈 중 최고의 정밀도를 제공합니다.
VMZ-H3030은 300x300x150mm(X,Y,Z) 측정 범위와 다양한 고품질 광학 장치를 제공하며 TTL 방식의 스캐닝 레이저가 표준으로 구성되어 있습니다. 이 시스템은 최상의 고정밀 측정을 제공하도록 설계되었습니다.
광학 줌 시스템의 5가지 타입 :
5가지 타입의 광학 줌 시스템을 사용하여 다양한 시야각 및 해상도 요구사항을 처리할 수 있습니다.
고속 높이 측정 :
초당 1,000 포인트의 초고속 스캔이 가능한 TTL 측광 방식의 레이저 자동초점으로 고정밀의 고속 높이 측정이 가능합니다.
까다로운 샘플을 측정할 수 있는 기능 :
니콘의 고유한 조명 옵션을 사용하여 까다로운 가장자리와 형상을 쉽게 측정할 수 있습니다.
고정밀 / 고속 치수 측정 :
타입 1/ 2/ 3은 선명하고 왜곡이 적은 이미지와 높은 개구수를 제공 합니다.타입 4 및 TZ는 고 배율을 다루도록 설계 되었습니다. 5가지 유형을 선택하여 다양한 시야각 및 해상도 요구 사항을 충족 시켜 줍니다.
NEXIV AutoMeasure
AutoMeasure는 니콘 NEXIV 화상 측정 시스템의 모든 기능을 활용하는 사용자 친화적이고 프로그래밍 가능한 소프트웨어 플랫폼입니다.
AutoMeasure는 사용이 간편하고 측정 프로그램의 생성을 위한 논리적으로 구성된 치수 측정 소프트웨어입니다. AutoMeasure는 모든 측정 응용 분야를 처리할 수 있는 첨단 프로그래밍 도구를 탑재했으며, 작업 현장의 작업자를 위한 기본 인터페이스로 쉽게 구성할 수도 있습니다.
강력한 엣지 검출 도구 :
많은 도구중 하나의 엣지도구를 선택하고 감지할 수 있습니다
샘플 표면의 이물질로 인하 오류를 제거하여 보다 정확하고 신뢰할 수 있는 측정값을 얻을 수 있습니다
오 정렬 및 편차 보정 기능 :
샘플의 배치나 제조상의 편차에 의해 발생하는 오정렬을 자동으로 검출하고 보정 함으로써 여러 샘플을 한번에 측정하는 경우에도 원할한 연속 자동 측정이 가능 합니다.
측정 프로그램 작성 지원 :
샘플을 얻기전데 CAD데이터를 사용하여 측정 프로그램을 작성하는 기능이 표준으로 포함되어 있습니다.
외형 평가 :
공정 형상과 측정된 형상을 겹쳐서 오류를 시각화할 수 잇습니다.
기하학적 형태와 자유 형상 모두에 사용할 수 있습니다
티칭 네비게이션 :
NEXIV를 처음 접하는 사용자를 지원하기 위해, 이 기능을 통해 각 단계에서 필요한 동작을 보여줌으로써 측정 프로그램을 쉽게 만들 수 있도록 안내합니다.
