top of page

VX 3000시리즈

소형/ 고 정밀

VX 3030D

주요 사양

카메라 : 5M픽셀 CMOS
시야 : 116x6mm [고정밀] 130x20mm [넓은시야]
스테이지 이송 범위 : X축 110mm, Y축 고정
Z축 이송 범위 : 35mm
측정 정밀도 : 고 정밀 ±(4+0.05L)μm / 0.7μm
: 광 시야 ±(7+0.005L)μm / 2μm

반복 정밀도 : ±0.5um ~ ±1um
적재 하중 : 2kg
중량 : 30kg
외형 사이즈 : 500×280×670mm
옵션 : Excel 실 시간 전송 프로그램

공통 사양

측정 소프트웨어 : Vision X
렌즈 : 2중 평행 광학 계
조명 : LED 평행 광학 [투과(녹색)/ 반사(백색)
디스플레이 해상도 : 0.1μm
제어 : AC 서보 제어 시스템 [x,y,z ]
입력 전원 : AC100 ~ 240V/ 50~60Hz

소형/ 범용

VX 3100D

주요 사양

카메라 : 5M픽셀 CMOS
시야 : 130x20mm [고 정밀], 200x100mm [넓은시야]
스테이지 이송 범위 : X축 110mm, Y축 고정
Z축 이송 범위 : 35mm
측정 정밀도 : 고 정밀 ±(4+0.05L)μm / 2μm
: 광 시야 ±(7+0.005L)μm / 4μm

반복 정밀도 : ±2um
적재 하중 : 2Kg
외형 사이즈 : 500×280×670mm
중량 : 30Kg
옵션 : Excel 실 시간 전송 프로그램

공통 사양

측정 소프트웨어 : Vision X
렌즈 : 2중 평행 광학 계
조명 : LED 평행 광학 [투과(녹색)/ 반사(백색)
디스플레이 해상도 : 0.1μm
제어 : AC 서보 제어 시스템 [x,y,z ]
입력 전원 : AC100 ~ 240V/ 50~60Hz

중형/ 범용

VX 3200D

주요 사양

카메라 : 5M픽셀 CMOS
시야 : 130x130mm [고 정밀], 200x200mm [넓은시야]
스테이지 이송 범위 : X축 110mm, Y축 110mm
Z축 이송 범위 : 75mm
측정 정밀도 : 고 정밀 ±(4+0.05L)μm / 2μm
: 광 시야 ±(7+0.005L)μm / 5μm

반복 정밀도 : ±0.5um ~ ±2um
적재 하중 : 7.5Kg
중량 : 49Kg
외형 사이즈 : 531×386×731mm
옵션 : Excel 실 시간 전송 프로그램

공통 사양

측정 소프트웨어 : Vision X
렌즈 : 2중 평행 광학 계
조명 : LED 평행 광학 [투과(녹색)/ 반사(백색)
디스플레이 해상도 : 0.1μm
제어 : AC 서보 제어 시스템 [x,y,z ]
입력 전원 : AC100 ~ 240V/ 50~60Hz

소형/ 범용

VX 3300D

주요 사양

카메라 : 5M픽셀 CMOS
시야 : 130x230mm [고 정밀], 300x200mm [넓은시야]
스테이지 이송 범위 : X축 120mm, Y축 110mm
Z축 이송 범위 : 75mm
측정 정밀도 : 고 정밀 ±(4+0.05L)μm / 2μm

: 광 시야 ±(7+0.005L)μm / 5μm

반복 정밀도 : ±0.5um ~ ±2um
적재 하중 : 7.5Kg
외형 사이즈 : 531×503×731mm
중량 : 75Kg
옵션 : Excel 실 시간 전송 프로그램

공통 사양

측정 소프트웨어 : Vision X
렌즈 : 2중 평행 광학 계
조명 : LED 평행 광학 [투과(녹색)/ 반사(백색)
디스플레이 해상도 : 0.1μm
제어 : AC 서보 제어 시스템 [x,y,z ]
입력 전원 : AC100 ~ 240V/ 50~60Hz

Call

010-2435-7005

032-875-7005

E-mail

nikonkorea@msn.com

Follow

bottom of page