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VX 8000시리즈

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​소형/ 고 정밀

VX 8200

​주요 사양

  • 카메라 : 20M픽셀 CMOS

  • 시야 : 130x130mm [고정밀]  200x200mm [넓은시야]

  • 스테이지 이송 범위 : X축 110mm, Y축 110mm

  • ​Z축 이송 범위 : 75mm

  • 측정 정밀도 : ±(1.5+0.005L)μm

  • 반복 정밀도 : ±0.5um ~ ±2um

  • ​적재 하중 : 7.5kg

  • ​외형 사이즈 : 531×386×731mm

  • ​중량 : 49kg

  • 옵션 : 수평 회전 장치/ 엑셀 전송 프로그램

​공통 사양

  • 측정 소프트웨어 : Vision X

  • 렌즈 : 2중 평행 광학 계 

  • 조명 : 멀티앵글 4분할 표면 조명(흰색 ), 0°수평 조명(녹색)

                : 평행 광 투과 조명 (녹색)​

  • 디스플레이 해상도 : 0.1μm

  • 제어 : AC 서보 제어 시스템 [x,y,z]

  • ​입력 전원 : AC100 ~ 240V/ 50~60Hz

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​중형/ 고 정밀

VX 8300

​주요 사양

  • 카메라 : 20M픽셀 CMOS

  • 시야 : 230x130mm [고정밀]  300x200mm [넓은시야]

  • 스테이지 이송 범위 : X축 210mm, Y축 110mm

  • ​Z축 이송 범위 : 75mm

  • 측정 정밀도 : 광 시야 ±(3+0.005L)μm / ±3μm

                            : 고 정밀 ±(1.5+0.005L)μm / ±1.5μm

  • 반복 정밀도 : ±0.5um ~ ±2um

  • 적재 하중 : 7.5kg

  • ​외형 사이즈 : 531×503×731mm

  • ​중량 : 75kg

  • 옵션 : 높이  측정 광학 프로브/ 엑셀 전송 프로그램

​공통 사양

  • 측정 소프트웨어 : Vision X

  • 렌즈 : 2중 평행 광학 계 

  • 조명 : 멀티앵글 4분할 표면 조명(흰색 ), 0°수평 조명(녹색)

                : 평행 광 투과 조명 (녹색)

  • 디스플레이 해상도 : 0.1μm

  • ​제어 : AC 서보 제어 시스템 [x,y,z]

  • ​입력 전원 : AC100 ~ 240V/ 50~60Hz

Call

010-2435-7005

032-875-7005

E-mail 

nikonkorea@msn.com

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