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VX 3500 / VX 8500 | 대형 원샷 측정기

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​범용

VX 3500

​주요 사양

  • 카메라 : 5M픽셀 CMOS

  • 시야 :  430x330mm [고 정밀]  500x400mm [넓은 시야]

  • 스테이지 이송 범위 : X축 410mm, Y축 310mm

  • ​Z축 이송 범위 : 200mm

  • 측정 정밀도 : 고 정밀 ±(3+0.005L)μm / 2μm

                            : 광 시야 ±(7+0.005L)μm / μm

  • 반복 정밀도 : ±0.5um ~ 2um

  • ​적재 하중 : 20kg

  • 외형 사이즈 : 900x1340x1600mm

  • ​중량 : 950kg

  • 옵션 : 엑셀 전송 프로그램/ 수평 회전 장치/

                  높이 측정 광학 프로브/ 라인 레이저스캔 프로브

​공유 사양

  • ​​측정 소프트웨어 : Vision X

  • 렌즈 : 2중 평행 광학 계

  • 조명 : 멀티앵글 4분할 표면 조명(흰색 ), 0°수평 조명(녹색)

                : 평행 광 투과 조명 (녹색)​

  • 디스플레이 해상도 : 0.1μm

  • ​동작 : 프로그램 제어 전 자동 시스템 [x,y,z 축]

  • ​입력 전원 : AC100 ~ 240V/ 50~60Hz

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고 정밀

VX 8500

​주요 사양

  • 카메라 : 20M픽셀 CMOS

  • 시야 :  430x430mm [고정밀]  500x400mm [넓은시야]

  • 스테이지 이송 범위 : X축 410mm, Y축 310mm

  • ​Z축 이송 범위 : 200mm

  • 측정 정밀도 : 고 정밀 ±(3+0.005L)μm / 2μm

                            : 광 시야 ±(7+0.005L)μm / μm

  • 반복 정밀도 : ±0.5um ~ 2um

  • ​적재 하중 : 20kg

  • ​중량 : 950kg

  • 외형 사이즈 : 900x1340x1600mm

  • 옵션 : 엑셀 전송 프로그램/ 수평 회전 장치/

                  높이 측정 광학 프로브/ 라인 레이저스캔 프로브

​공유 사양

  • ​​측정 소프트웨어 : Vision X

  • 렌즈 : 2중 평행 광학 계

  • 조명 : 멀티앵글 4분할 표면 조명(흰색 ), 0°수평 조명(녹색)

                : 평행 광 투과 조명 (녹색)​

  • 디스플레이 해상도 : 0.1μm

  • ​동작 : 프로그램 제어 전 자동 시스템 [x,y,z 축]

  • ​입력 전원 : AC100 ~ 240V/ 50~60Hz

Call

010-2435-7005

E-mail 

nikonkorea@msn.com

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