컨포컬 현미경 | LASER Conforcal Microscope

VT 6000

VT6000은 3D 컬러 이미지를 기반으로 다양한 정밀 부품 및 재료 표면의 마이크로-나노 레벨의 측정/분석을 위한 전용 장비 입니다.

분석 기능

거칠기 분석 : ISO4287, ISO25178, ISO12781등의 표준 규약 준수
기하학적 형상 분석 : 단차, 거리, 각도, 곡율, 진직도, 진원도 등
구조 분석 : 홀 용적, 홈 깊이 등
연속 구간 분석 : 텍스처 방항, 스팩트럼 분석 등
기능 분석 : SK매개 변수, 볼륨 매개변수 등

데이터 처리 기능

위치 조정 : 레벨링, 미러링 등
보정 : 공간 필터링, 수정, 노이즈 제거 등
필터링 : 비 정형 형상 제거, 표준 필터링, 스팩트럼 필터링 등
추출 : 영역 추출, 프로필 추출 증

사 양

원리 : 회전 디스크 방식 컨포컬 광학 시스템

대물렌즈 : 5x, 10x, 20x, 50x, 100x

시야 : 120x120μm - 1.2x1.2mm

스테이지 정밀도 : ±(0.2 + L/100)μm

반복 정밀도 : 12nm

디스플레이 행상도 : 0.5nm

평면 측정 정밀도 : ±2%

평면 반복정밀도 : 40nm

평면 디스플레이 해상도 : 1nm

스테이지 측정 범위 : 100x100mm/ 200x200mm/300x300mm

Z 축 이동 범위 : 100mm

Z축 스캔 범위 : 10mm

조명 : 백색 LED

대물렌즈 회전 대 : 전동 5구

중량 : 50Kg

전원 : 100 - 240VAC, 50/60Hz, 2A, 300W

사양서

종합카타로그

적용 사례

광학 회절 격자

나노급 광학 소자

접합 마찰 및 마모 공정 부품

매끄러운 표면의 나노 스케일 이미징

마이크로 요철 표면

반도체 칩 표면

렌즈 구면

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